技術(shù)
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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
l大尺寸樣品分析 Veritas系列可以分析常規(guī)SEM無(wú)法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓,磁盤(pán)
l無(wú)損樣品分析 無(wú)需切割即可分析樣品。例如PCB,半導(dǎo)體圖案分析
l較重樣品分析 能夠分析重達(dá)2kg的樣品。例如巖石,鐵礦石