據國家智能傳感器創(chuàng)新中心消息，6 月 30 日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心建設的國內首條 12 英寸先進傳感器中試線成功通線。

據介紹，該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級 3D 集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業(yè)鏈國產化，實現(xiàn)自主可控。

據了解到，國家智能傳感器創(chuàng)新中心表示，將在 12 英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術，重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝，并推動相關產品及應用的產業(yè)化。